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Aplicaciones de la física de plasmas en la industria

Erich Saettone-Olschewski

Resumen


Se presentan las características y propiedades del estado
ionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los de evaporación iónica (sputtering) de tipo glow discharge y los de resonancia ciclotrónica electrónica (ECR).

Palabras clave


Plasma; Gases ionizados

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DOI: 10.26439/ing.ind2010.n028.247


ISSN 1025-9929